Das Institut für Mikrosystemtechnik der Universität Siegen behandelt in Forschung und Lehre alle Aspekte des rechnergestützten Entwurfs und der Fertigung von Mikrosystemen und IC-Layout über das gesamte Spektrum der Fertigungstechnologien.
- Mikrosystementwurf- Werkzeuge für das Prozessmanagement und für die Kostenanalyse- EDA-Werkzeug für IC-Layout und Mikrostrukturen- Prototypentwicklung von analog-Mixed Signal-Chips
